洗浄・エッチング装置

装置

バッチウェット装置

特徴

対応ウェーハサイズ:3~12インチ
対応薬液:各種有機、酸、アルカリ    
乾燥機:公転式S/D、自転式S/D、IPAドライヤー
処理方式:キャリア処理、キャリアレス処理
※その他ご要望に関しましてはご相談に応じます。

枚葉処理装置

 
特徴

対応ウェーハサイズ:4~8インチ

対応薬液:各種有機、酸、アルカリ

※実験機から量産機まで対応します

※その他、ご要望に関しましては相談に応じます

MEMS用エッチング装置

特徴

ウェーハ表面に発生する水素ガス(気泡)を回転動作により除去→エッチング斑の抑制をします

Si基盤をTMAH、KOH等で深堀します

※その他ご要望に関しましてはご相談に応じます。

石英管洗浄装置

特徴

石英チューブ、治具等を薬液洗浄、処理後の水洗処理を行える機器です。

※その他ご要望に関しましてはご相談に応じます。

ドラフト①
特徴

薬品洗浄、処理後の水洗処理を行える機器です。
お客様のご要望に応じ作成可能です。

ドラフト②
特徴

薬品洗浄、処理後の水洗処理を行える機器です。
お客様のご要望に応じ作成可能です。

ドラフト③
特徴

超音波洗浄が行える機器です。
お客様のご要望に応じ作成可能です。