周辺装置

装置


薬液回収装置
特徴

お客様の要望に応じ様々な大きさにて作成します。

気楽にご相談ください!

ウェーハ移載機
特徴

各種キャリア対応ご相談に応じます。
各種オプションを取り揃えています。     

スピンドライヤー
特徴

公転式、自転式それぞれ取り扱っております。

サイズも12インチまで対応しております。

保管庫
特徴

SUS製、PVC製ご要望に応じて作成いたします。