周辺装置

  • メッキ液回収システム メッキ液を大容量タンクに溜めてからドラム缶に移送回収するシステムです。
    お客様の要求仕様で設計検討します。
  • 薬液回収装置 お客様の要望に応じ様々な大きさにて作成します。
    気楽にご相談ください！
  • ウェーハ移載機 各種キャリア対応ご相談に応じます。
    各種オプションを取り揃えています。
  • ハーフピッチウェーハ移載機 8インチウエ－ハ用ハーフピッチウエ－ハ移載機。
    各種オプションを取り揃えています。
  • スピンドライヤー(公転式） サイズ2～12インチまで対応しております。
  • 1段式スピンドライヤー(自転式） サイズ2～8インチまで対応しております。
  • 2段式スピンドライヤー(自転式）


  • 保管庫 SUS製、PVC製ご要望に応じて作成いたします。