洗浄・エッチング装置

バッチウェット装置 対応ウェーハサイズ：3～12インチ
対応薬液：各種有機、酸、アルカリ　　　　
乾燥機：公転式S/D、IPAドライヤー
処理方式：キャリア処理、キャリアレス処理
※その他ご要望に関しましてはご相談に応じます。
枚葉処理装置 対応ウェーハサイズ：4～8インチ
対応薬液：各種有機、酸、アルカリ
※実験機から量産機まで対応します
※その他、ご要望に関しましてはご相談に応じます
MEMS用エッチング装置 ウェーハ表面に発生する水素ガス（気泡）を回転動作により除去→エッチング斑の抑制をします
Si基板をTMAH、KOH等で深堀します
※その他ご要望に関しましてはご相談に応じます。
石英管洗浄装置 石英チューブ、治具等を薬液洗浄、処理後の水洗処理を行える機器です。
※その他ご要望に関しましてはご相談に応じます。